微电子洁净车间布局原则

流程分离：避免不同工艺步骤之间的交叉污染，确保产品的质量和一致性。

空间分隔：准洁净区要求次高的洁净度，用于次要的工艺步骤。非洁净区则不要求洁净度，用于非关键的工艺步骤或设备维护等。

气流控制：通常采用正压或负压控制，通过空气过滤系统、气流调节和排风系统实现。

人员流动控制：采取适当的人员行为控制措施，如穿戴洁净服、戴口罩、戴手套等，以防止人员对环境的污染。

设备布置：设备之间应保持适当的间距，以便于操作、维护和清洁。同时，设备应与空气过滤系统和气流控制系统协调配合，确保洁净度要求的达到。

材料选择：具有抗静电、易清洁、低挥发性等特性。避免使用会产生粉尘、颗粒或有害物质的材料，以减少污染源。

监测和验证：用于监测空气质量、洁净度、温湿度等参数，并进行定期验证。这样可以及时发现问题并采取措施进行调整和改进。

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