行业动态

微电子洁净车间注意事项



微电子洁净车间注意事项

 

材料选择:选择符合洁净要求的材料,如防静电地板、抗菌墙面材料、无尘无纤维的天花板等。避免使用会产生粉尘、颗粒或有害物质的材料,以减少污染源。

静电控制:静电会对微电子制造过程产生不利影响,因此需要采取静电控制措施。选择抗静电材料,安装防静电地板、静电消除设备,并确保工作人员穿着适当的防静电服装。

空气过滤系统:安装高效的空气过滤系统,包括HEPA(高效颗粒空气过滤器)和ULPA(超高效颗粒空气过滤器)等,以过滤空气中的微粒和颗粒物,提供洁净的工作环境。

温湿度控制:微电子制造对温湿度的控制要求较高。安装恒温恒湿系统,确保洁净车间内的温度和湿度稳定在适宜的范围内。

照明设计:合理设计照明系统,确保工作区域有足够的亮度,同时避免照明设备产生过多的热量和颗粒物。

排水系统:设计合理的排水系统,确保排水畅通,避免水分滞留和产生细菌滋生的环境。

人员行为控制:建立明确的人员行为控制规范,包括穿戴洁净服、戴口罩、戴手套等,避免人员对洁净环境的污染。


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