微电子洁净车间注意事项

材料选择：选择符合洁净要求的材料，如防静电地板、抗菌墙面材料、无尘无纤维的天花板等。避免使用会产生粉尘、颗粒或有害物质的材料，以减少污染源。

静电控制：静电会对微电子制造过程产生不利影响，因此需要采取静电控制措施。选择抗静电材料，安装防静电地板、静电消除设备，并确保工作人员穿着适当的防静电服装。

空气过滤系统：安装高效的空气过滤系统，包括HEPA(高效颗粒空气过滤器)和ULPA(超高效颗粒空气过滤器)等，以过滤空气中的微粒和颗粒物，提供洁净的工作环境。

温湿度控制：微电子制造对温湿度的控制要求较高。安装恒温恒湿系统，确保洁净车间内的温度和湿度稳定在适宜的范围内。

照明设计：合理设计照明系统，确保工作区域有足够的亮度，同时避免照明设备产生过多的热量和颗粒物。

排水系统：设计合理的排水系统，确保排水畅通，避免水分滞留和产生细菌滋生的环境。

人员行为控制：建立明确的人员行为控制规范，包括穿戴洁净服、戴口罩、戴手套等，避免人员对洁净环境的污染。

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