半导体无尘车间施工需要符合严格的标准和规范，以确保洁净度和工艺要求。

半导体无尘车间的空气净化系统是关键。它包括高效过滤器、送风系统、排风系统和空气循环系统等。施工过程中，应确保净化系统的设计、安装和调试符合相关的标准和规范，如ISO 14644系列标准。

应选择符合洁净度要求的材料。例如，墙面、天花板和地板应采用易清洁、无尘埃产生的材料，如不锈钢板、铝合金板、PVC地板等。此外，施工材料应符合环保要求，不会释放有害物质。

不同工艺区域应有明确的隔离设计。根据工艺要求和洁净度级别，采用合适的隔墙、隔离门和密封材料，确保区域之间的空气流动不发生交叉污染。

排水系统应设计合理，确保排水畅通和无积水。排水管道应采用耐腐蚀材料，如不锈钢或聚丙烯管道，并设置合适的斜度和防倒流装置。

照明系统应满足洁净度要求，并提供足够的照明强度。照明设备应易清洁、无尘埃产生，并且不会产生电磁干扰。

需要有效控制静电，防止静电对产品和设备的影响。施工过程中，应注意避免静电产生和积聚，采取合适的防静电措施，如使用导电地板、静电消除装置等。

应配备环境监测系统，用于监测温度、湿度、洁净度等参数。施工过程中，应确保监测系统的安装和校准符合相关的标准和规范。

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