半导体无尘车间施工需要符合严格的标准和规范,以确保洁净度和工艺要求。
半导体无尘车间的空气净化系统是关键。它包括高效过滤器、送风系统、排风系统和空气循环系统等。施工过程中,应确保净化系统的设计、安装和调试符合相关的标准和规范,如ISO 14644系列标准。
应选择符合洁净度要求的材料。例如,墙面、天花板和地板应采用易清洁、无尘埃产生的材料,如不锈钢板、铝合金板、PVC地板等。此外,施工材料应符合环保要求,不会释放有害物质。
不同工艺区域应有明确的隔离设计。根据工艺要求和洁净度级别,采用合适的隔墙、隔离门和密封材料,确保区域之间的空气流动不发生交叉污染。
排水系统应设计合理,确保排水畅通和无积水。排水管道应采用耐腐蚀材料,如不锈钢或聚丙烯管道,并设置合适的斜度和防倒流装置。
照明系统应满足洁净度要求,并提供足够的照明强度。照明设备应易清洁、无尘埃产生,并且不会产生电磁干扰。
需要有效控制静电,防止静电对产品和设备的影响。施工过程中,应注意避免静电产生和积聚,采取合适的防静电措施,如使用导电地板、静电消除装置等。
应配备环境监测系统,用于监测温度、湿度、洁净度等参数。施工过程中,应确保监测系统的安装和校准符合相关的标准和规范。
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